規(guī)格:

1)加熱部分

—      增壓式強(qiáng)制熱風(fēng)系統(tǒng)，直聯(lián)高溫馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，變頻調(diào)整風(fēng)速

—      8個(gè)加溫區(qū)，16個(gè)加熱模塊(上8個(gè)/下8個(gè))，獨(dú)立溫控及開關(guān)

—      不銹鋼爐膛

—      溫度控制范圍:室溫-300℃

—      溫度控制精度:±1℃(靜態(tài))

—      基板橫向溫度偏差: ±2℃

2）冷卻部分

—      軸流風(fēng)機(jī)強(qiáng)制水冷卻(雙冷卻區(qū))

—      外置3匹冷水機(jī)制冷

—      冷水溫度可調(diào)，冷卻區(qū)溫度顯示

3）控制部分

—      PIII工業(yè)電腦控制，WINDOWS98操作界面，中英文繁簡體在線自

由切換，15″LCD顯示器

—      溫度曲線測量及分析功能，虛擬仿真功能