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  • 更新日期:2014-09-29 09:11:19
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手術顯微鏡,外科手術顯微鏡,眼科手術顯微鏡 http://www.chinacorder.com/ 光刻機/紫外曝光機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系統(tǒng),光刻系統(tǒng)等。常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫 Mask Alignment System. 一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕、等工序 Photolithography(光刻) 意思是用光來制作一個圖形(工藝); 在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結構臨時“復制”到硅片上的過程。 分類: 光刻機一般根據(jù)操作的簡便性分為三種,手動、半自動、全自動 A 手動:指的是對準的調(diào)節(jié)方式,是通過手調(diào)旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita角度來完成對準,對準精度可想而知不高了; B 半自動:指的是對準可以通過電動軸根據(jù)CCD的進行定位調(diào)諧; C 自動: 指的是 從基板的上載下載,曝光時長和循環(huán)都是通過程序控制,自動光刻機主要是滿足工廠對于處理量的需要,恩科優(yōu)的NXQ8000系列可以一個小時處理幾百片wafer。

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